ЗЕЛЕНОГРАДСКИЙ КРЕМНИЙ
Спецвыпуск Xakep, номер #011, стр. 011-034-1
Noah (noah@inbox.ru)
Амиго, ты, наверное, в курсе, что в подмосковном Зеленограде еще в советские времена был организован наш вариант Силиконовой Долины. Такое хай-течное место мы упустить никак не могли, поэтому договорились с ЗАО "Корона Семикондактор", базирующимся на зеленоградском заводе "Микрон", о небольшой экскурсии по их предприятию. Честно тебе скажу, такого хай-тека мы никак не ожидали увидеть!
ДОЛИНА, ГДЕ РАСТУТ ЧИПЫ
ЗАО "Корона Семикондактор" - это совместное российско-гонконгское предприятие по производству микрочипов для всяких калькуляторов, часов и прочих мелких девайсов. Всю дорогу в Зеленоград я пытался представить себе место, куда мы едем. С совокупностью понятий "отечественное предприятие" и "производство микрочипов" почему-то упорно ассоциировались только пьяные рабочие, старые грязные станки и полуразвалившийся цех :). К счастью, ни одна из картин, созданных моим больным воображением, в реальности не существовала. С первых же минут стало ясно, что ЗАО "Корона Семикондактор" - это предприятие европейского уровня, оборудованное по последнему слову техники. Хай-тек, короче :). Прежде чем мы приступим к самому вкусному - технологиям и оборудованию, - полезно понять, как вообще производятся чипы. Так что, приятель, приготовься немного погрузиться.
ТЕОРИЯ ЧИПОСТРОЕНИЯ
Мне самому, понятное дело, все объясняли на пальцах (рук), поэтому я тоже тебе буду втолковывать все на пальцах (ног :)). Итак, для того чтобы получить готовый чип, который уже можно впаивать в схему девайса (например, калькулятора), нужно пройти целую производственную цепочку. Причем, разные ее звенья выполняются на разных предприятиях. Но так как сегодня мы говорим об одном конкретном предприятии, звено, выполняющееся на нем, мы рассмотрим наиболее подробно. Ну, поехали.
Все веселье с производством чипов начинается с того, что на первом предприятии (в цепочке) выращивают кремниевую сосульку. У этой сосульки есть один важный параметр - ширина в обхвате. Выращенную сосульку стачивают, придав ей форму карандаша, и нарезают на тонкие диски (пластины), приблизительно так же, как ты нарезаешь дома колбасу :). Легко догадаться, что из ширины сосульки вытекает диаметр получаемых в итоге дисков. Эти диски передаются в следующее предприятие, которым, собственно, и является "Корона Семикондактор" (или другое, подобное ему предприятие). Там диски специальным образом обрабатывают и создают на их поверхности множество микрочипов (как они это делают, мы очень подробно рассмотрим ниже).
Эти диски (уже на другом предприятии) разрезают на чипы, которые вставляют в корпуса. Все, теперь их можно впаивать в схемы (либо впаривать покупателям :)).
Давай теперь подробнее смотреть среднее звено - то есть как создают на поверхности кремниевой пластинки колонию микрочипов. Разобьем все по пунктам, чтоб было более-менее понятно:
1. Сначала поверхность пластины покрывается окислом (окисляется). Пластины просто засовывают в печи и обдувают паром. Полученный слой оксида будет потом защищать молекулы кремния от смещения при бомбежке ионами.
