ЗЕЛЕНОГРАДСКИЙ КРЕМНИЙ

Спецвыпуск Xakep, номер #011, стр. 011-034-4

2. Техническая комната. Чтоб не упоминать об этом все время, сразу объясню, что у некоторых боксов есть свои технические зоны. В них находится "задняя" часть аппаратуры. То есть, в бокс выведена, скажем, панель управления, а за стенкой (в соседнем боксе) находятся сами железки. Это очень удобно, так как техникам не надо заходить в боксы повышенной чистоты, чтоб настроить, наладить, отремонтировать или заправить реагентами аппаратуру (в технических зонах уровень чистоты не такой высокий, как в рабочих боксах).

3. Участок запуска. Отсюда начинают свой путь по дальнейшему конвейеру все пластины. Тут каждую пластину идентифицируют и маркируют.

4. Участок фотолитографии. Довольно большой бокс. Именно на этом участке наносят фоторезист. Фишка: везде горит желтый свет (чтоб не засветить слой фоторезиста). Выглядит это очень прикольно, как будто попал в какой-то космический корабль: белые стены, металлический пол и желтоватое свечение :).

5. Участок промежуточного контроля и проверки. Здесь стоят микроскопы, с помощью которых люди проверяют целостность поверхности дисков. Здесь же мы подметили первый комп. Он занят очень ответственной работой - проверяет дефектность ;).

6. Техническая зона участка плазмо-химического травления.

7. Сам участок плазмо-химического травления. Ну, я уже говорил, что травлением снимают отработавшие свое слои фоторезиста.

8. Еще одна техническая зона участка плазмо-химического травления, только с другой стороны.

9. Бокс химического травления.

10. Техническая зона предыдущего участка. Здесь в установки заливаются особо чистые реагенты (их закупают заграницей).

11. Еще один участок химии. Тут происходит еще одна обработка.

12. Техническая зона участка вакуумного напыления.

13. Сам участок.

14. Зона оснастки. Здесь моют, дезинфицируют и подготавливают оборудование для дальнейшей работы.

15. Участок окончательного контроля. Это самый прикольный бокс. Тут пластины проходят окончательный контроль: в очередной раз проверяется целостность поверхности и тестируются вольтамперные характеристики (ВАХ) чипов. Поверхность проверяют с помощью микроскопов.

Прикинь, перец, смотришь в микроскоп и видишь в нем схему чипа. Чип под микроскопом похож на город со своими небоскребами, улицами... Впрочем, что тут рассказывать, можешь сам все увидеть на фотке (у Феди зверская камера, умеет делать фотки прямо из объектива микроскопа).

ВАХ (вольт-амперную характеристику) можно тестировать в двух режимах: автоматически и вручную. Для каждого из них есть свои установки.

16. Участок ионной имплантации.

17. Участок жидкостного химического травления.

18. Бокс, в котором на пластину наносится окончательный поверхностный слой.

19. Техническая зона участка диффузии.

20. Участок диффузии. Здесь проводят окисление и создают защитный слой оксида.

21. Еще одна техническая зона участка диффузии.

Выходили мы их чистой зоны в шоковом состоянии. Столько хай-тека - и все за каких-нибудь тридцать минут! Каково же было наше удивление, когда нам сказали, что ВСЯ аппаратура произведена в России и странах СНГ! Вот так...

Назад на стр. 011-034-3  Содержание  Вперед на стр. 011-034-5

загрузка...
Cпец Хакер #075Cпец Хакер #074Cпец Хакер #073Cпец Хакер #072Cпец Хакер #071Cпец Хакер #070Cпец Хакер #069Cпец Хакер #068Cпец Хакер #067Cпец Хакер #066Cпец Хакер #065Cпец Хакер #064Cпец Хакер #063Cпец Хакер #062Cпец Хакер #061Cпец Хакер #060Cпец Хакер #059Cпец Хакер #058Cпец Хакер #057Cпец Хакер #056Cпец Хакер #055Cпец Хакер #054Cпец Хакер #053Cпец Хакер #052Cпец Хакер #051Cпец Хакер #050Cпец Хакер #049Cпец Хакер #048Cпец Хакер #047Cпец Хакер #046Cпец Хакер #045Cпец Хакер #044Cпец Хакер #043Cпец Хакер #042Cпец Хакер #041Cпец Хакер #040Cпец Хакер #039Cпец Хакер #038Cпец Хакер #037Cпец Хакер #036Cпец Хакер #035Cпец Хакер #034Cпец Хакер #033Cпец Хакер #032Cпец Хакер #031Cпец Хакер #030Cпец Хакер #029Cпец Хакер #028Cпец Хакер #027Cпец Хакер #026Cпец Хакер #025Cпец Хакер #024Cпец Хакер #023Cпец Хакер #022Cпец Хакер #021Cпец Хакер #020Cпец Хакер #019Cпец Хакер #018Cпец Хакер #017Cпец Хакер #016Cпец Хакер #015Cпец Хакер #014Cпец Хакер #013Cпец Хакер #012Cпец Хакер #011Cпец Хакер #010Cпец Хакер #009Cпец Хакер #008Cпец Хакер #007Cпец Хакер #006Cпец Хакер #005Cпец Хакер #004Cпец Хакер #003Cпец Хакер #002Cпец Хакер #001